Descripción general del producto
SCD6 y SCD6S son sistemas compactos de revelado y recubrimiento por giro automático de 6 pulgadas para semiconductores compuestos, dispositivos de potencia, MEMS y fabricación optoelectrónica.
SCD6: Destinado a dispositivos de energía y producción de LED. Adopta una estructura compacta, admite sustratos como Si, Zafiro, GaAs, GaN, SiC, InP, LT, LN y se adapta a procesos G-line/i-line.
SCD6S: Orientado a MEMS, circuito integrado RF, comunicación óptica e investigación de laboratorio. Amplía la compatibilidad de materiales con Glass y agrega capacidad de proceso PI, brindando mayor flexibilidad para diversas tareas de I+D y producción piloto-.
Ambos modelos ocupan poco espacio, son compatibles con dos-tamaños sin reemplazo de piezas, una alimentación precisa de la bomba dosificadora fotorresistente y completas funciones integradas-como EBR, BSR y limpieza automática-de boquillas.
Ventajas
Diferenciación de modelos para diferentes escenarios SCD6 optimiza la producción-en masa de energía/LED; SCD6S agrega soporte de sustrato-de vidrio y procesos PI para MEMS, RF y usuarios orientados-a la investigación.
Módulos opcionales flexibles Admite control de temperatura de fotorresistente/revelador, módulo de cebado de vapor HMDS para satisfacer diversos requisitos de proceso.
Capacidad de trazabilidad completa Almacenamiento-a largo plazo para registros de fallas de equipos y registros de parámetros de procesos, conveniente para el seguimiento de la calidad y el análisis de procesos.
Funciones de proceso estándar integrales-EBR, BSR, RRC y funciones automáticas de limpieza e hidratación de la boquilla de pegamento incorporadas para garantizar una calidad de litografía estable.
Entrega de fotorresistente de alta-precisión Bomba dosificadora de precisión para suministro de fotorresistente, alta precisión de dosificación y alimentación de líquido estable; Configuración sencilla de recetas para el volumen de dispensación.
Parámetros
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Artículo |
SCD6 |
SCD6S |
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Modelo |
Recubridor y revelador giratorio SCD6 6-pulgadas |
Recubrimiento y revelador giratorio SCD6S de 6 pulgadas |
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Tamaño de oblea |
Compatible con tamaño dual de 6-pulgadas (150 mm) sin reemplazo de piezas |
Compatible con tamaño dual de 6-pulgadas (150 mm) sin reemplazo de piezas |
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Material de sustrato |
Si, zafiro, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
Si, vidrio, zafiro |
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Configuraciones de la cámara |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
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Proceso de litografía admitido |
Línea G-, línea i- |
Línea G-, línea i-, PI |
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Dimensión del equipo (An × Pr × Al) |
1050 × 1900 × 2200 milímetros |
1500 × 1450 × 2200 milímetros |
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Unidades opcionales |
Control de temperatura del fotorresistente/revelador, módulo HMDS |
Control de temperatura del fotorresistente/revelador, módulo HMDS |
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Funciones principales integradas- |
EBR, BSR, RRC, boquilla-humidificación y limpieza automáticas |
EBR, BSR, RRC, boquilla-humidificación y limpieza automáticas |
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Modo de control |
Control local, almacenamiento-de recetas a largo plazo y registros de fallos |
Control local, almacenamiento-de recetas a largo plazo y registros de fallos |
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Proceso de dar un título |
Compatible con SEMI S2 |
Compatible con SEMI S2 |
Preguntas frecuentes
P: ¿Cuál es la diferencia entre SCD6 y SCD6S?
R: SCD6 está optimizado para la producción en masa de dispositivos de energía y LED, y admite diversos sustratos semiconductores compuestos (zafiro, GaN, SiC, etc.) con procesos de línea G/línea i. SCD6S agrega capacidad de proceso PI y compatibilidad con sustrato de vidrio, más adecuado para MEMS, RF IC, comunicación óptica y escenarios de investigación y desarrollo de laboratorio. Las configuraciones de la cámara y las dimensiones físicas también son diferentes.
P: ¿Admiten SCD6/SCD6S el cambio de tamaño de oblea?
R: Sí. Ambos modelos admiten compatibilidad con dos tamaños sin reemplazar piezas de repuesto, lo que acorta el tiempo de cambio de producto.
P: ¿Qué módulos opcionales se pueden seleccionar?
R: El módulo de control de temperatura del fotorresistente y del revelador y el módulo de cebado HMDS están disponibles tanto para SCD6 como para SCD6S.
P: ¿Puede la máquina almacenar el proceso y el historial de fallas?
R: Sí. Los parámetros del proceso y los registros de fallas del equipo se pueden guardar a largo plazo para realizar un seguimiento de la calidad y depurar el proceso.
P: ¿Son adecuados para producción en masa o solo para uso en laboratorio?
R: Ambos admiten la producción en masa de pequeños lotes, así como la investigación y el desarrollo en laboratorio. SCD6 está más orientado a la fabricación en volumen de energía/LED; SCD6S se adapta a proyectos piloto de producción e investigación.
Etiqueta: Recubridor y revelador por rotación de 6 pulgadas, fabricantes y proveedores de revelador y recubridor por rotación de 6 pulgadas en China
