Descripción general del producto
El SCD 12 es un equipo de seguimiento de revelador y recubridor-de giro automático de 12-pulgadas para el proceso de litografía de semiconductores. Diseñado para la fabricación de obleas de 300 mm, adopta un diseño de arquitectura modular-que admite una configuración de cámara flexible. Puede realizar una conexión en línea con herramientas de exposición a litografía, cubriendo escenarios de producción en masa e investigación y desarrollo para circuitos integrados, empaques avanzados, dispositivos de energía y otros campos.
Es capaz de procesar obleas ultra-delgadas y deformadas, admite conmutación de tamaño de-oblea-doble{2}}sin reemplazo de piezas y es totalmente compatible con los principales procesos de litografía de semiconductores.
Ventajas
Alta-capacidad y tamaño compacto Diseño de unidad de proceso-modular, alto rendimiento, ahorra valioso espacio-en sala limpia. Las cámaras de proceso se pueden configurar de forma flexible según los requisitos del cliente.
Fuerte capacidad de procesamiento de obleas-deformadas Admite transferencia y procesamiento estables para obleas ultra-delgadas y deformadas con deformaciones inferiores a 5 mm, lo que resuelve las dificultades de la fabricación de sustratos-especiales.
Compatibilidad de tamaño dual-sin reemplazo de hardware Cambie entre diferentes tamaños de oblea sin reemplazo-de piezas mecánicas, acorte el tiempo de cambio y reduzca el costo de operación.
Listo para herramientas de litografía-en línea El módulo de interfaz opcional admite el acoplamiento en línea-con máquinas de exposición de litografía convencionales, lo que permite realizar un flujo de trabajo de litografía de seguimiento-completamente automático.
Amplias opciones de módulo-funcional. Admite placa calefactora de alta-precisión, alineación óptica, exposición de bordes de oblea WEE y otros componentes opcionales para satisfacer los requisitos de procesos- diversificados.
Parámetros
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Artículo |
Especificación |
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Modelo |
Recubridor y revelador giratorio SCD de 12 12-pulgadas |
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Tamaño de oblea |
12-pulgadas (300 mm), compatible con tamaño dual sin reemplazo de piezas |
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Material de sustrato |
Sí, vidrio |
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Configuraciones de la cámara |
2C2D / 4C / 4D / 4C4D (personalizable) |
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Proceso de litografía admitido |
i-línea, KrF, ArF, PI, SOG, SOC |
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Ancho de línea de litografía aplicable |
Mayor o igual a 90 nm |
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Rendimiento máximo |
110 WPH (depende de la receta y la configuración) |
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Compatibilidad con obleas deformadas |
Admite deformación Menor o igual a 5 mm transmisión y procesamiento de obleas ultrafinas/deformadas |
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Dimensión (Ancho × Fondo × Alto) |
4970 × 1973 × 2460 milímetros |
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Función en línea |
Módulo de interfaz opcional para conectar con la máquina de litografía |
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Unidades opcionales |
Placa calefactora de alta-precisión, alineación óptica y módulo de exposición de bordes de oblea WEE |
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Modo de control |
Control local/control remoto de automatización de fábrica |
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Proceso de dar un título |
Compatible con SEMI S2 |
Preguntas frecuentes
Preguntas frecuentes
P: ¿Qué sustratos y tamaños de oblea admite SCD 12?
R: Principalmente para obleas de 12 pulgadas (300 mm), que soportan sustratos de Si y Vidrio. Admite cambio de tamaño dual sin reemplazar piezas de repuesto y puede procesar obleas deformadas/ultrafinas con deformación menor o igual a 5 mm.
P: ¿Qué procesos de litografía puede ejecutar esta máquina?
R: Admite procesos i line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC, adecuados para litografía con ancho de línea mayor o igual a 90 nm.
P: ¿Se puede conectar el SCD 12 a un escáner/paso a paso de litografía?
R: Sí. Seleccione el módulo de interfaz opcional para lograr un acoplamiento en línea con las máquinas de exposición de litografía convencionales.
P: ¿Qué configuraciones de cámara están disponibles para seleccionar?
R: Configuraciones disponibles: 2C2D / 4C / 4D / 4C4D. Los clientes pueden agregar unidades opcionales que incluyen placa calefactora de alta precisión, alineación óptica, WEE y módulo de interfaz en línea según los requisitos del proceso.
P: ¿Cuál es el rendimiento real?
R: El rendimiento máximo es 110 WPH. El rendimiento en el mundo real varía según la configuración real de la cámara y la receta de producción.
P: ¿El SCD 12 es adecuado tanto para producción en masa como para investigación y desarrollo en laboratorio?
R: Sí. La configuración modular flexible puede satisfacer las demandas de fábricas de producción en masa de gran volumen y también adaptarse al trabajo de I+D de lotes pequeños en institutos de investigación.
Etiqueta: Recubridor y revelador por rotación de 12 pulgadas, fabricantes y proveedores de revelador y recubridor por rotación de 12 pulgadas en China
