Descripción general del producto
El limpiador de obleas traseras es un dispositivo de procesamiento húmedo especializado diseñado para la limpieza de la parte posterior de obleas semiconductoras y que admite formatos de obleas de 6 a 12 pulgadas. Diseñado para flujos de trabajo de envasado avanzados, presenta una configuración de 4 cámaras, compatibilidad con 2 portadores SMIF POD/FOUP y control del proceso central (calentamiento, caudal, presión). Con un rendimiento de 55 a 60 obleas por hora, integra funciones de seguridad (protección contra sobrecalentamiento, detección de fugas) y comunicación SECS/GEM para una integración inteligente en la fábrica.
Ventajas
Amplia compatibilidad con obleas:
Admite obleas de 6 a 12 pulgadas, adaptándose a diversas necesidades de embalaje avanzadas.
01
Rendimiento estable del proceso:
Controla la deformación de las obleas dentro de ±10 mm, lo que garantiza la consistencia de las obleas adelgazadas.
02
Rendimiento eficiente:
Ofrece entre 55 y 60 obleas por hora, equilibrando la velocidad y la calidad de limpieza.
03
Flexible y seguro:
Química DICO2 opcional/protección trasera; Incluye drenaje clasificado y monitoreo de seguridad.
04
Integración de fábrica:
Soporte completo SECS/GEM para una conexión perfecta a sistemas MES.
05
Aplicaciones
Campo objetivo:Embalaje de semiconductores avanzado.
Proceso central:Limpieza posterior de obleas después del adelgazamiento (elimina residuos de los procesos de adelgazamiento para garantizar la fiabilidad del envasado).
Parámetros
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Especificación |
Detalles |
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Tamaño de oblea |
6-12 pulgadas |
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Tolerancia a la deformación de la oblea |
Menor o igual a ±10 mm |
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Rendimiento (WPH) |
55-60 obleas/hora |
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Cámaras |
4 cámaras |
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Compatibilidad con operadores |
2 SMIF POD/FOUP |
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Químicas admitidas |
DICO2 (protección trasera opcional) |
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Funciones de control de procesos |
Control de calefacción, control de caudal, control de presión. |
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Características de seguridad |
Protección contra sobrecalentamiento del baño, detección de fugas, clasificado |
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Protocolo de comunicación |
SECS/GEM |
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Campo de aplicación de destino |
Embalaje avanzado |
Preguntas frecuentes
¿Qué tamaños de oblea admite este limpiador de espalda?
Es compatible con obleas de 6 a 12 pulgadas y cubre formatos comunes en envases avanzados.
¿Cuál es la deformación máxima de la oblea que puede soportar?
Soporta obleas con alabeo menor o igual a ±10mm, apto para obleas adelgazadas en procesos de envasado.
¿Qué tan rápido es el rendimiento de este dispositivo?
Puede procesar entre 55 y 60 obleas por hora, equilibrando la eficiencia y la calidad de la limpieza.
¿Con qué transportistas funciona?
Admite 2 transportadores SMIF POD/FOUP, alineándose con sistemas de logística fabulosos estándar.
¿Qué química utiliza? ¿Hay protección trasera disponible?
Utiliza DICO2 (se proporciona una configuración de protección trasera opcional).
¿Se puede conectar al sistema MES de nuestra fábrica?
Sí-la compatibilidad total con el protocolo de comunicación SECS/GEM permite una integración perfecta con MES.
¿Qué características de seguridad tiene?
Incluye protección contra sobrecalentamiento del baño, detección de fugas y drenaje de residuos clasificados.
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