¿Está cansado de que equipos voluminosos se apoderen de su laboratorio o pequeño espacio de producción? El sistema RTP-100 de escritorio RTP está diseñado para obleas pequeñas (6 pulgadas como máximo)-perfecto para equipos que necesitan precisión sin sacrificar pies cuadrados. Es sencillo, confiable y está diseñado para las necesidades diarias de investigadores y fabricantes de lotes pequeños.
Lo que nos encanta de él
Se adapta como un guante: Con 910 mm×860 mm×695 mm (W×D×H), se desliza en esquinas estrechas o bancos de trabajo abarrotados. No es necesario reorganizar toda la configuración solo para agregar capacidad de procesamiento térmico.
Control de temperatura en el que puede confiar: Dos formas de regular el calor-termopar para temperatura ambiente de hasta 800 grados y pirómetro infrarrojo de 500 grados a 1200 grados. Calienta obleas hasta 150 grados/s (mucho más rápido que con portadores de SiC o grafito, que tienen un límite de 20-30 grados/s). ¿Y la consistencia? Menos o igual a ±3 grados uniforme por debajo de 600 grados, Menos o igual a ±0,5% por encima de eso, más ±1 grado de repetibilidad, para que sus resultados no varíen de un lote a otro.
Funcionamiento sin-complicaciones: La carga/descarga manual simplifica las cosas (ideal si prefieres el control-mano), mientras que un timbre y luces de advertencia te avisan si algo no funciona. El control por PC también facilita el ajuste de parámetros-no se requiere capacitación complicada.
Cubre los conceptos básicos (y algo más): Maneja un vacío de hasta 30 mTorr, mantiene el oxígeno por debajo de 3 ppm y admite hasta 4 canales MFC. Ya sea que esté realizando recocido por implantación de iones, crecimiento de óxido o tratamientos térmicos de muestras pequeñas, cumple todos los requisitos para un procesamiento térmico rápido y básico.
¿Para quién es?
Esto no es para-fábricas a gran escala-, sino para el técnico de laboratorio que realiza experimentos diarios, el pequeño fabricante que produce componentes personalizados o el equipo de investigación que prueba nuevos materiales. Si trabaja con obleas pequeñas y necesita resultados consistentes sin la molestia de equipos de tamaño industrial-, este es para usted.
Consejos rápidos para usarlo correctamente
Cambio de modos de temperatura: Utilice el termopar para temperaturas de hasta 800 grados y cambie a infrarrojos en el software de la PC para temperaturas más altas. El sistema se calibra automáticamente-buen toque.
Cargando obleas: ¡No te saltes los guantes limpios! Las huellas dactilares o el polvo arruinan los resultados. Manéjelo con cuidado, sin dejarlo caer y asegúrese de que esté centrado en el transportador.-pasos sencillos que le ahorrarán dolores de cabeza más adelante.
Correcciones comunes: Si el timbre suena al iniciar, primero verifique si la puerta de la cavidad está bien cerrada (¡todos lo hemos olvidado!). Si la velocidad de calentamiento no alcanza los 150 grados/s, asegúrese de no utilizar un transportador-que lo ralentice. Y si sus obleas se oxidan inesperadamente,-verifique dos veces el vacío (debe ser menor o igual a 30 mTorr) y los niveles de oxígeno (manténgalos en<3 ppm).
Mantenimiento que importa: Limpia la cámara de cuarzo con alcohol semanalmente.-La suciedad se acumula más rápido de lo que crees. Revise las lámparas cada 3 meses (reemplácelas después de 1000 horas) y los anillos de sellado mensualmente para detectar grietas. Ah, y no dejes que el enfriamiento por agua supere los 70 grados -esa es una forma rápida de dañar las piezas.
Un caballo de batalla sólido
Certificado según los estándares SEMI S2, este dispositivo está diseñado para durar. No tiene características adicionales llamativas que nunca usarás, pero cumple con lo esencial: precisión, compacidad y facilidad de uso. Para laboratorios y equipos pequeños que necesitan una solución de procesamiento térmico que funcione día tras día, el RTP-100 es una obviedad. No es perfecto (¡nada lo es!), pero es confiable, y eso es lo que cuenta cuando intentas mantener los experimentos o la producción encaminados.
