Descripción general del producto
Se pueden obtener mediciones de temperatura en tiempo real-en determinados puntos de la oblea y la distribución general de temperatura de la oblea utilizando TC Wafer. Además, se puede utilizar para monitorear continuamente los cambios transitorios de temperatura a lo largo de los procesos térmicos, incluidos los procesos de calentamiento, enfriamiento, -estado estable y tiempos de retraso (adquiriendo datos de uniformidad de la temperatura del horno para gestionar el rendimiento, etc.). Muchos procedimientos de alta temperatura-en la fabricación de semiconductores requieren características exactas de medición de temperatura. Por lo tanto, es esencial una oblea TC con una estabilidad excepcional y una gran precisión de medición.
Aplicaciones
• Plantas de fabricación de semiconductores (Fabs), plantas de obleas de silicio, plantas de fabricación de obleas.
• Plantas de embalaje y pruebas.
• Horno/PVD/CVD/RTP/Foto/Sputtering/Horno/Placa caliente...
• Fabricantes de equipos semiconductores
• Monitoreo de la temperatura de la cámara en equipos de proceso de alta-temperatura
Ventajas
• Precisión de medición: ±1,1 grados/±0,4%
• Entorno operativo: condiciones normales/entorno de vacío
• Funciones de software avanzadas para visualización en tiempo real-de perfiles de campo de temperatura y curvas de calefacción.
• Guardado automático de datos de medición.
Parámetros
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TIPO |
TCW-6-5 |
TCS-8-5 |
TCSW-8-9 |
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Rango de temperatura |
RT-1200 grados |
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Tamaño de oblea |
6 pulgadas |
8 pulgadas |
8 pulgadas |
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Puntos de prueba |
5 |
5 |
9 |
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Material de oblea |
Silicio |
Silicio |
Silicio |
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Precisión de la prueba de temperatura |
± 1,1 grados/±0,4% |
± 1,1 grados/±0,4% |
± 1,1 grados/±0,4% |
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Disposición |
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Preguntas frecuentes
¿Qué es una oblea TC?
Una oblea TC es una herramienta de medición de temperatura utilizada en la fabricación de semiconductores. Puede adquirir la temperatura de ubicaciones específicas en una oblea en tiempo real, así como la distribución general de la temperatura. También puede monitorear cambios transitorios de temperatura durante los procesos de calentamiento y enfriamiento.
¿Cuáles son los diferentes modelos de TC Wafers y cuáles son sus diferencias de parámetros principales?
Hay tres modelos disponibles, cuyas principales diferencias son el tamaño de la oblea y la cantidad de puntos de prueba: TCW-6-5 (6 pulgadas, 5 puntos de prueba), TCS-8-5 (8 pulgadas, 5 puntos de prueba) y TCSW-8-9 (8 pulgadas, 9 puntos de prueba). Todos los modelos tienen un rango de temperatura desde temperatura ambiente hasta 1200 grados y una precisión de ±1,1 grados/±0,4%.
¿Para qué escenarios son adecuadas las obleas TC?
Son adecuados para fábricas de obleas de semiconductores, plantas de embalaje y pruebas y fabricantes de equipos de semiconductores. Pueden monitorear la temperatura de la cavidad de equipos de proceso de alta-temperatura, como tubos de horno, PVD y CVD.
¿Cuáles son sus principales ventajas tecnológicas?
Ofrece mediciones de alta-precisión, compatibilidad con el uso en entornos de temperatura ambiente/vacío, visualización en tiempo real-de campos de temperatura y curvas de calefacción, y almacenamiento automático de datos de medición.
Proceso de cooperación con obleas de CT
Confirmación de requisitos:Proporcionar escenario/tamaño/puntos de prueba, determinar el modelo compatible
Cotización de solución:Solución + cotización en 3 días
Pago del contrato:Firme el contrato y pague el anticipo, comience a preparar los productos.
Entrega y Aceptación: SEstándar de 5 a 7 días / Personalizado de 10 a 12 días para la preparación y entrega de productos, pago final al momento de la aceptación dentro de los 3 días (son posibles devoluciones y cambios para artículos defectuosos)
Servicio postventa-:1-año de garantía + 24/7 consultas, los clientes a largo plazo disfrutan de descuentos/inspecciones
Etiqueta: oblea tc, fabricantes y proveedores de oblea tc de China
